除臭过程分为以下2—3个阶段：
预过滤：经过空气过滤器的有效过滤，以提高废气洁净度和活性氧净化废气的效果。
活性氧化除臭：用来去除综合性恶臭异味。
光触媒催化氧化(可选)：可对各种有机废气进一步强化处理。

经过预过滤的废气被导入高浓度活性氧发生区域，与活性氧群混台，活性氧群将致臭污染物降解成二氧化碳和水以及其它小分子,经过净化后的空气通过通风管道排入到大气中。

河南省林州化工污水处理厂废气治理工程

采用活性氧废气治理工艺，处理风量：20000Nm3/h,综合污染物去除率>96%

活性氧废气处理技术特点

处理效率高：
活性氧除臭装置能有效去除硫化氢(H2S)、氨(NH3)、甲硫醇等特定的污染物，以及各种异(臭)味，效果可达90％以上。

投资省、运行稳定、能耗低：
采用德国原装进口高科技活性氧发生及控制器，风阻小，寿命长，电耗极小。

纯物理法原理、安全可靠：
氧化反应在常温常压下进行，无二次污染。

没备全自动运行：
无需专人管理，管理方便，运行费用极低。可连续运行且也适合于间断运行。

自动控制、操作简便：
通过如PLC等自控，可远程或就地二种控制，在就地控制时有手动和自动二种控制模式体积小、自重轻，占地面积小，适合于布置紧凑、场地狭小等特殊条件的改造项目。

成套设备，安装方便：
可方便的安装在空调、通风系统的管道中。

对处理较大风量（小于10000m3/h）低浓度的恶臭废气，活性氧除臭设备具有明显的优越性投资成本低，处理效率高，是恶臭废气治理的优选方案。